随着真空度的提高，泵入口管道中的压力降低，气流会由定向黏滞流逐渐转变为自由分子流。这时候油蒸气分子的平均自由程不断增大，分子间的碰撞次数不断减少，就有机会通过粗抽管道进入到真空室中，污染真空系统。
旋壳泵的返油率与真空泵的大小、工作温度、旋片的线速度等因素有关。
像旋壳泵在工作中，金属旋片会与泵腔内壁不断摩擦会产生局部过热，使旋片连续划破油润滑膜，导致泵油发生单纯性的热分解或热金属作触媒的分解。
泵油裂解后成为轻馏分的油蒸气，这种油蒸气分子量小，易反扩散，就容易跑到高真空端。
如果旋壳泵与油扩散泵组成真空系统，机械泵返油不仅影响扩散泵的极限真空，同时还会增加扩散泵的返油。在运用旋壳泵的过程中，要做好清洁工作。
